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PfeifferTMH 262对应的分子泵电源为Pfeiffer TC100,对应电压为24V DC, Pfeiffer TC100 ,可以驱动对应的分子泵有Pfeiffer TMH071, Pfeiffer TMU071, Pfeiffer TMH262,其输出为3相 24V 0-1500Hz的PWM 电压。